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Helixfil系列助力大型電子超純水項目
發(fā)布時(shí)間：
2021-11-22 14:47
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01 什麼(me)是電子超純水？
在電子行業，純水在電子元器件生産中的重要作用日益突照和出。純水品質已成(chéng)爲還話影響電子元器件産品質量、生産成(chéng)品率及生産成(c信靜héng)本的重要因素之一。在集成(chéng)電路生産中，超純水是與芯片接觸最頻繁高麗的介質之一，水質的好(hǎo)壞直接影響到電路暗票的成(chéng)品率與産品質量，這(zhè)影村就(jiù)要求水質要嚴格達到相南相應工藝水平所要求的指标。
電子超純水是指將(jiāng)水中的近高導電介質幾乎完全去除，又將(jiāng)水中不離解的膠體物質、氣體及相風有機物均去除至很低程度的水，水中除了水分子（H2O）外，幾乎笑事沒(méi)有什麼(me)雜質，更沒(méi)有細菌、病毒、含氯二惡英等區街有機物。這(zhè)種(zhǒng)水的制作工藝可以通過(guò)蒸餾、去離子化、反子購滲透技術或其他适當的超臨界精細技術生産出來的水。如今以反滲透技術在電子超純水制備方面(mià子東n)應用比較普遍，具有高脫鹽率、适應水質含鹽量範圍廣、化學(xué)藥水友劑消耗少、環保、占地面(miàn)積小、自動化道近程度高、産水的水質穩定等特點。
四川某公司 PDP 項目一期工程啓動大型電子超純水項目，工藝特點爲“高精技術，高潔淨度”，其水處理工藝需話就要爲生産提供超純水，而反滲透系統爲其中最主要的脫鹽處理系統。
該水處理項目的原水取自市政自來水，電導率在 200～8科森00 μS/cm 之間波動，進(jìn)水餘氯質量濃度在 0.2～1 mg/L村如 之間波動。
02 電子超純水系統工藝
整個水處理系統分爲預處理系統+反滲透爲主的脫鹽系統+精處理系統+（加溫行城後(hòu)）+後(hòu)續的精處機靜理工藝，最後(hòu)得到電子超純水。整個水處理系統有算書加熱功能(néng)，根據不同的用畫謝水溫度需要調整進(jìn)水溫度。
預處理系統由絮凝劑和殺菌劑+全自動多介質過(guò)濾器+全自動活高慢性炭過(guò)濾器+預處理産水箱+預處理輸送泵組成到輛(chéng)。主要通過(guò)添加藥劑和機械過(gu劇體ò)濾器來去除掉水中泥沙、懸浮物、膠體、微生物等物煙哥質，保證産水的 SDI＜5，滿足反滲透的進(jìn)水條件。
精處理系統主要由進(jìn)水泵+一級 TOC科費 UV+膜脫氣系統+連續電除鹽系統（CEDI）組成(chéng)，主要是進道近(jìn)一步去除水中的含鹽量，爲後(hòu)續的精處理系統提供穩定的做煙水質保障。後(hòu)續精處理根據分布小相不同分兩(liǎng)股水，由海件水罐+泵+二級TOC UV+超純水抛光混床+換熱器+0.房暗1μm 過(guò)濾器組成(chéng)，之後(h說還òu)不同溫度的産水作爲超純水使用。水處理流程如下圖所示
該水處理系統主要由多介質過(guò)濾器+活性炭過(guò)濾器+一級R民子O系統+二級RO系統+CEDI系統+PCW系統（鍋爐補充水）+〔（25±房日1）℃超純水系統+（40±1）℃超純水系統〕組成(ché喝個ng)的。
03 反滲透系統設計
由于反滲透系統允許進(jìn)水含鹽量相對(duì)較廣，且脫鹽率高雪會，故反滲透系統是整個水處理系統中脫鹽的核放媽心，反滲透膜可除去水中絕大部分可溶性鹽分， 除去水中全部的膠體和微生靜時物，保證了出水水質，爲後(hòu)續的工藝提供優質的水源，減輕脫鹽負荷。
反滲透爲主的脫鹽體系主要包括一級反滲透系統和二級反滲透系統，訊書一級反滲透系統爲最主要的脫鹽系統。該反滲透系統主雨民要由熱交換器+保安過(guò)濾器+一級高壓泵+一級反滲透系統+緩她的沖水罐+二級高壓泵+二級反滲透系放去統+産水水箱組成(chéng)。
著(zhe)重介紹一級反滲透系統的運行情況，一級反上都滲透系統單套設計爲一級兩(liǎng)段現樂：（14∶6）×6，單套 120 支膜元件，系統設計産水 103 m3 /h，設計回收率 75%，溫度爲 25 ℃，共 5 套，膜元件共 600 們子支。以反滲透膜系統爲主介紹說(shuō木為)明該水系統的運行情況。
考慮到原水（市政自來水）的水質受季節和氣候的子票影響波動性很大，故此套水處理系統使用的反滲透膜是時(shí)代沃頓H一看elixfil系列增強型反滲透了機膜元件中的PURO-I。
對(duì)比普通系列的膜元件，PURO司購-I膜元件采用特殊工藝對(duì)膜表面(miàn)進(jìn)身微行處理，改變了膜片表面(miàn)的光滑北如度，增加膜表面(miàn)親水性，膜表面(miàn)書線的電荷也趨近于中性，同時(shí)采用 34 mil寬進(jìn)水流道(dà花報o)網設計，從而減小了膠體、污染物和微生物在膜表面(miàn)的污染，顯著提高頻弟膜元件抗污染能(néng)力，延數問長(cháng)膜的使用壽命，同綠國時(shí)更耐清洗。
04 反滲透系統的優異表現
從該廠大型水處理項目實際應用的情況來看，設計可行。PURO-I 土關膜在此系統中的運行良好(hǎo)，給該廠後(hòu)續的水處理工藝提供靜妹了穩定的水質。一級反滲透系統在運行期間系統的高司運行壓力在1MPa左右；系統的進(jìn)水電導率些一在300~400 μS/cm之間波動， 産水電導率始終在5μS/c廠妹m以下，系統的脫鹽率在98.5%以上；系統的平均産水量在100 m3 /h左右，系統的回收率在75%左右，滿足就理客戶的供水要求。反滲透系統運行期間對(duì)運行情況進(jìn可睡)行了記錄分析，如下圖所示
整個水處理系統固定資産折舊費、電耗、藥關作劑消耗以及人工等各種(zhǒng)費用進(jìn)行核算， 其中一級反滲透産如冷水成(chéng)本爲 2.87元/t， 二級反滲透産水成(chéng)本爲鄉麗4.47元/t，總的超純水産水成(chéng)本爲 6.85元/t，當放土地自來水的價格爲2.33元/t， 該水處理系統給工廠提供了優質而穩定的水源。
反滲透技術在該廠大型電子超純水項目中得到成(chéng)功應用了問，爲後(hòu)續的脫鹽處理工藝提供了優質的水源，保證了後(hòu睡身)續脫鹽工藝的穩定，也驗證了反滲透技術在電子超純水項目應用中的良好些家(hǎo)表現，同時(shí)也增加了一個可供參考的成(chéng)熟吧妹案例。
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